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眾合科技參股企業(yè)——新陽硅密（上海）半導(dǎo)體技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“新陽硅密半導(dǎo)體”），由上海新陽半導(dǎo)體材料有限公司與硅密四新半導(dǎo)體技術(shù)（上海）有限公司于2016年4月重組成立。公司注冊(cè)資金7800萬元，擁有3000平米廠房面積，具備1000平米萬級(jí)潔凈車間及業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體電鍍工藝專業(yè)級(jí)實(shí)驗(yàn)室，并創(chuàng)建了行業(yè)領(lǐng)先的半導(dǎo)體晶圓級(jí)濕制程電鍍裝備及半導(dǎo)體濕法裝備與化學(xué)藥液一體化工藝服務(wù)平臺(tái)。

公司專注于半導(dǎo)體濕法制程電鍍?cè)O(shè)備及相關(guān)濕法裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)，主要產(chǎn)品有InnovaSYS單晶圓電鍍?cè)O(shè)備、CleanSYS批次式清洗刻蝕設(shè)備等。

服務(wù)案例：

2  北京有研，整條清洗建線

2  上海新傲，清洗工藝升級(jí)改造

2  南京國盛，清洗工藝升級(jí)改造

2  浙江金瑞泓，清洗工藝升級(jí)改造

2  洛陽麥斯克，清洗工藝升級(jí)改造

2  46所，清洗工藝升級(jí)改造

2  TI CFAB DNS 820.C安裝及設(shè)備模組改造

2  TI CFAB DNS 820.L安裝及設(shè)備模組改造

2  TI CFAB SCP 9400 安裝及改造

2  TI CFAB（43套）自動(dòng)CO2檢測(cè)/滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)與改造

2  BCD 12濕法設(shè)備安裝及改造，包括KAIJO，DNS，SEMITOOL

2  GSMC Akrion/SCP 9400 Pre-Clean濕法設(shè)備安裝/改造

2  GSMC Akrion/SCP 9400有機(jī)溶劑濕法設(shè)備安裝/改造

2  BCD純水加熱系統(tǒng)安裝改造

2  TSMC（9套）Kaijo及DNS自動(dòng)CO2檢測(cè)/滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)與改造

2  SIMBCD 5”升級(jí)為6”的整條線濕法設(shè)備項(xiàng)目

2  IMECAS 5”升級(jí)為6”的整條線濕法設(shè)備項(xiàng)目

2  華潤晶芯6”26臺(tái)濕法設(shè)備工藝交付

2  上海貝嶺6”整條線濕法設(shè)備項(xiàng)目

2  SMIC成都（TI）8”線移機(jī)項(xiàng)目

2  Tech Semiconductor移機(jī)項(xiàng)目

2  TSMC從Atmel（England）移機(jī)的濕法設(shè)備移機(jī)項(xiàng)目

2  臺(tái)積電DNS濕法設(shè)備SOM改SPM設(shè)備模組改造

2  SK Hynix WuXi（4套）自動(dòng)CO2檢測(cè)/滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)與改造

2  中芯FAB1全部E200濕法設(shè)備安裝及工藝調(diào)試

2  CSMC KAIJO有機(jī)溶劑濕法設(shè)備兆聲波機(jī)加熱器改造

2  SKY SILICON DNS 820.C設(shè)備模組改造

2  SMIC 7臺(tái)12寸JET BW3000 PRStrip移機(jī)及工藝調(diào)試項(xiàng)目

2  士蘭3臺(tái)12寸JET BW3000 PR Strip翻新機(jī)項(xiàng)目

2  GSMC SEMITOOL有機(jī)溶劑濕法設(shè)備安裝/自動(dòng)CO2滅火系統(tǒng)